中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理装置及其稳定性优化的方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理装置及其稳定性优化的方法”，专利申请号为CN201911202122.8，授权日为2024年5月14日。

专利摘要：本发明涉及一种等离子体处理装置及其稳定性优化的方法，在等离子体处理装置的安装基板与气体喷淋头之间形成导电接触层，通过所述导电接触层在气体喷淋头到安装基板之间实现直流连接；所述导电接触层可以承受非常高的射频加载，不存在射频加热变性问题；通过控制导电接触层的阻值，使所述气体喷淋头到安装基板之间的阻值在特定温度下极其稳定；本发明有效地提升了等离子体处理装置中射频回路、直流回路的稳定性。

今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了4.76%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。

证券之星微信

扫描二维码

关注

证券之星微信