中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理装置及其半导体晶圆的处理方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理装置及其半导体晶圆的处理方法”，专利申请号为CN201911174957.7，授权日为2024年5月10日。

专利摘要：本发明涉及一种等离子体处理装置及其半导体晶圆的处理方法。等离子体处理装置，包括反应腔，反应腔内包括上电极组件、下电极组件、冷却通道及加热装置。上电极组件设置在反应腔内的上方，同时用于向反应腔内输送反应气体。下电极组件设置在反应腔内的下方，与上电极组件相对设置，用于承载待处理晶圆。冷却通道设置在上电极组件内部，用于对上电极组件进行冷却。加热装置设置在上电极组件内部，包括：若干个分立式加热器用于对上电极组件的不同区域进行加热；以及控制器，连结若干个分立式加热器且分别控制各个分立式加热器的功率。

今年以来中微公司新获得专利授权58个，较去年同期减少了7.94%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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