龙腾光电获得发明专利授权：“金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制作方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示龙腾光电（688055）新获得一项发明专利授权，专利名为“金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制作方法”，专利申请号为CN202211015206.2，授权日为2024年5月3日。

专利摘要：本发明提供一种金属氧化物薄膜晶体管的制作方法，包括在衬底上形成第一金属材料层、第一绝缘材料层和第二金属材料层；利用第一道黄光制程将第一金属材料层、第一绝缘材料层和第二金属材料层图案化形成第一金属层、第一绝缘层和第二金属层。在衬底上再次依次堆叠形成金属氧化物半导体材料层、第二绝缘材料层和第三金属材料层，利用第二道黄光制程将金属氧化物半导体材料层、第二绝缘材料层和第三金属材料层图案化形成金属氧化物层、第二绝缘层和第三金属层，对未被第二绝缘层覆盖的部分金属氧化物层进行离子掺杂使其导体化以形成分隔设置的第一导体区域和第二导体区域。本发明的制作方法制程简单，有效地缩短了制程的时间成本及材料成本。

今年以来龙腾光电新获得专利授权80个，较去年同期减少了2.44%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.2亿元，同比增14.47%。

数据来源：企查查

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