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云南锗业获得发明专利授权:“一种VB法与VGF法结合快速生长低位错砷化镓单晶的生长装置及方法”

来源:证券之星企业动态 2024-05-01 02:45:14
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证券之星消息,根据企查查数据显示云南锗业(002428)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种VB法与VGF法结合快速生长低位错砷化镓单晶的生长装置及方法”,专利申请号为CN202111222796.1,授权日为2024年4月30日。

专利摘要:本发明公开了一种VB法与VGF法结合快速生长低位错砷化镓单晶的生长装置,由炉体、石墨底座、PBN坩埚和提升装置组成;所述炉体包括6个加热区域和控制加热区域温度的6个温控装置,从下到上依次为第一区、第二区、第三区、第四区、第五区和第六区;石墨底座通过支撑底座设置于地面上;PBN坩埚设置于石英安瓶内,石英安瓶设置于石墨底座上;提升装置与炉体连接,能够拉动炉体以一定的拉速提升;炉体与PBN坩埚之间设置有石英罩,石英罩与支撑底座连接。不但能生长超低位错的晶体,而且放肩时间缩短20%,等径生长时间缩短50%,大大提高了生长效率。

今年以来云南锗业新获得专利授权6个,较去年同期增加了500%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3894.26万元,同比减13.07%。

数据来源:企查查

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