龙腾光电获得发明专利授权：“薄膜晶体管阵列基板及其制作方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示龙腾光电（688055）新获得一项发明专利授权，专利名为“薄膜晶体管阵列基板及其制作方法”，专利申请号为CN202011084353.6，授权日为2024年4月30日。

专利摘要：本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法，在第一绝缘层上形成棱镜结构和第一接触孔，其中第一绝缘层包括第一绝缘膜层和覆盖在第一绝缘膜层上且蚀刻速率大于第一绝缘膜层的第二绝缘膜层，在对第一绝缘层进行蚀刻时，由于第一绝缘层下部分的第一绝缘膜层和上部分的第二绝缘膜层的蚀刻速率不同，经过蚀刻速率较大的第二绝缘膜层的引导，最终形成的棱镜结构可以呈现良好的锥度角，提高了散光能力，并且在第一接触孔的孔壁还覆盖有第二绝缘层，避免了因对应第一接触孔同时蚀刻第一绝缘层和第二绝缘层而产生底切的情况，使得后续填入接触孔的像素电极避免了断线的风险。

今年以来龙腾光电新获得专利授权76个，较去年同期减少了1.3%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.2亿元，同比增14.47%。

数据来源：企查查

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