时创能源获得发明专利授权：“一种隧穿氧化层钝化接触结构的制备方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示时创能源（688429）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种隧穿氧化层钝化接触结构的制备方法”，专利申请号为CN202210824940.7，授权日为2024年4月26日。

专利摘要：本发明公开了一种隧穿氧化层钝化接触结构的制备方法，包括如下步骤：在链式氧化炉中对硅片进行氧化处理，在硅片背面形成隧穿氧化层；通过LPCVD在隧穿氧化层上沉积多晶硅层；通过热扩散对多晶硅层进行掺杂并完成退火晶化，形成掺杂多晶硅层。本发明的隧穿氧化层的氧化处理工艺可以单独控制，可以更好地和后道掺杂晶化工序进行匹配，而且生长的隧穿氧化层质量和均匀性更好。

今年以来时创能源新获得专利授权26个，较去年同期增加了52.94%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.63亿元，同比增35.76%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。

证券之星微信

扫描二维码

关注

证券之星微信