上海新阳获得发明专利授权：“用于移除硬遮罩的钨相容性清洗液、其制备方法及应用”

证券之星消息，根据企查查数据显示上海新阳（300236）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于移除硬遮罩的钨相容性清洗液、其制备方法及应用”，专利申请号为CN202010208618.2，授权日为2024年4月19日。

专利摘要：本发明公开了一种用于移除硬遮罩的钨相容性清洗液、其制备方法及应用。本发明提供一种清洗液，其由下述原料制得，所述的原料包括以下质量分数的组分：0.5％?20％的氧化剂、0.01％?30％的氧化剂稳定剂、0.1％?20％的氟化物、0.1％?20％的有机碱、0.001％?10％的螯合剂、0.001％?10％的缓蚀剂、0.01％?15％的羧酸铵、0.001％?1.5％的表面活性剂、0.001％?2.5％的钝化剂和余量的水，所述的质量分数为各组分质量占原料总质量的百分比；其中，所述的表面活性剂为EO?PO聚合物L42。该清洗液可选择性移除硬遮罩和其它残留物，对钨及多种金属及电介质相容性强，清洗效果佳。

今年以来上海新阳新获得专利授权26个，较去年同期增加了62.5%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.49亿元，同比增20.05%。

数据来源：企查查

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