证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“托盘载具和SMIF盒装载设备”,专利申请号为CN202311447422.9,授权日为2024年4月19日。
专利摘要:本发明公开了一种托盘载具和SMIF盒装载设备,托盘载具包括:底板,其底面用于与SMIF盒内的底座限位固定;托盘放置架,设置在底板上,托盘放置架包括支撑板,支撑板设置在底板的一侧,支撑板上有水平设置的托盘限位装置,托盘限位装置用于放置托盘,以使托盘可装卸地放置在托盘限位装置上。本发明的托盘载具在使用时,可在SMIF盒内直接取放不同晶圆尺寸的托盘,相对于现有技术的仅能取放固定尺寸的晶圆的晶圆载具,避免了在大气环境中需要人工取放托盘造成的颗粒物污染。
今年以来中微公司新获得专利授权55个,与去年同期持平。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。
数据来源:企查查
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