证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种托盘结构及其外延生长设备”,专利申请号为CN202321326978.8,授权日为2024年4月5日。
专利摘要:本实用新型公开了一种托盘结构及其外延生长设备,该托盘结构包含:基座,其可设置于一旋转座上,所述基座的上表面包含一限位结构,所述限位结构包围形成一凹陷部;衬底支撑件,至少部分地位于所述凹陷部内,用于承载衬底,所述衬底包括定位区域,所述衬底支撑件包括定位结构,所述定位结构与所述衬底的定位区域配合,用于防止所述衬底与所述衬底支撑件之间的相对滑动。其优点是:该托盘结构通过衬底支撑件的定位结构与衬底的定位区域之间的相互配合,实现了对衬底的位置约束,使其无法相对衬底支撑件发生滑动,进一步降低了衬底飞片的可能性,增加了衬底在工艺过程中的稳定性,有助于提高工艺成功率,降低破片的风险。
今年以来中微公司新获得专利授权55个,与去年同期持平。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。
数据来源:企查查
以上内容由证券之星根据公开信息整理,由算法生成(网信算备310104345710301240019号),与本站立场无关,如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理,不对您构成任何投资建议,投资有风险,请谨慎决策。