证券之星消息,根据企查查数据显示上海新阳(300236)新获得一项发明专利授权,专利名为“用于选择性移除硬遮罩的清洗组合物、其制备方法及应用”,专利申请号为CN202010230594.0,授权日为2024年4月19日。
专利摘要:本发明公开了一种用于选择性移除硬遮罩的清洗组合物、其制备方法及应用。所述的清洗组合物由下述原料制得,所述的原料包括以下质量分数的组分:10%?45%的氧化剂、0?1.5%的D?氨基酸氧化酶、0?2.5%的D型氨基酸、0.1%?15%的有机碱、0.001%?15%的螯合剂、0.005%?15%的缓蚀剂、0.05%?15%的羧酸铵、0.005%?1.5%的EO?PO聚合物L42、0.005%?2.5%的钝化剂和余量的水,所述的质量分数为各组分质量占各组分总质量的百分比。本发明清洗组合物对多种金属及电介质缓蚀性强,清洗效果佳。
今年以来上海新阳新获得专利授权26个,较去年同期增加了62.5%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了1.49亿元,同比增20.05%。
数据来源:企查查
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