烽火通信获得实用新型专利授权：“一种PCVD微波单元串联装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示烽火通信（600498）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种PCVD微波单元串联装置”，专利申请号为CN202322637928.8，授权日为2024年4月16日。

专利摘要：一种PCVD微波单元串联装置，涉及通信及半导体制造技术领域。其包括多个微波单元和驱动单元，多个微波单元的微波反应腔首尾相连，形成用于供反应管穿设的反应通道，且驱动单元可以用于驱动多个微波单元同步转动，以调节反应通道的角度，本申请提供的PCVD微波单元串联装置，通过将多个微波单元的微波反应腔串连，显著增加了反应通道的总长度，避免将微波单元的微波腔体来回往复运动，提高了反应管的利用率，保证了沉积效果，解决了相关技术中需要将微波单元的微波腔体来回往复运动，导致反应管利用率低、沉积效果差、有效产出不高的问题，且在与驱动单元的配合下，通过调节反应通道的角度，解决了反应通道过长反应管不好穿设及拆卸的问题。

今年以来烽火通信新获得专利授权47个，较去年同期减少了62.7%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了18.98亿元，同比增10.05%。

数据来源：企查查

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