凯格精机获得实用新型专利授权：“一种力控式芯片脱膜机构”

证券之星消息，根据企查查数据显示凯格精机（301338）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种力控式芯片脱膜机构”，专利申请号为CN202322415354.X，授权日为2024年4月16日。

专利摘要：本实用新型涉及固晶技术领域，具体公开一种力控式芯片脱膜机构，包括用于放置晶圆的固定顶针帽、位于所述固定顶针帽内的升降顶针、驱使所述升降顶针相对所述固定顶针帽上下运动的力控电机、以及驱使所述升降顶针和所述力控电机相对所述固定顶针帽上下运动的顶升直驱机构，其中，所述顶升直驱机构的驱动速度大于所述力控电机，所述力控电机的力控精度大于所述顶升直驱机构。本实用新型提供的力控式芯片脱膜机构，能有效解决现有芯片脱模机构在顶升时的速度和力度难以兼顾的问题。

今年以来凯格精机新获得专利授权13个，较去年同期减少了27.78%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了3691.97万元，同比增16.62%。

数据来源：企查查

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