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亚翔集成获得发明专利授权:“一种基于半导体生产线中不良产品的污染源查找方法”

来源:证券之星企业动态 2024-04-13 03:07:07
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证券之星消息,根据企查查数据显示亚翔集成(603929)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种基于半导体生产线中不良产品的污染源查找方法”,专利申请号为CN202110886035.X,授权日为2024年4月12日。

专利摘要:本发明公开了一种基于半导体生产线中不良产品的污染源查找方法,包括如下步骤:(1)先判断该不良原因是不良品相关联的机台造成的还是环境造成的,若是后者,则进行下一步;(2)确定污染物的物种;(3)排查待监测的洁净室空间内的机台,排除不涉及的污染物物种的机台;(4)利用上述气流流线进行逆向反推,从出现不良品相关联的机台出发,排除气流流线不会经过的机台;(5)依据所述逆向的气流流线的时间特性与机台起始时间,查出不可能的机台,然后排除这些不可能的机台;(6)进一步的检测确定污染物的来源。本发明的方法不仅没有增加额外的投入、成本较低,而且可以有效地查找到污染源,形成了一套系统性的方法。

今年以来亚翔集成新获得专利授权3个,较去年同期增加了200%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3863.04万元,同比增15.34%。

数据来源:企查查

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