万润股份获得发明专利授权：“一种光刻胶顶层涂层聚合物、制备方法及组合物和应用”

证券之星消息，根据企查查数据显示万润股份（002643）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种光刻胶顶层涂层聚合物、制备方法及组合物和应用”，专利申请号为CN202311798324.X，授权日为2024年4月9日。

专利摘要：本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种光刻胶顶层涂层聚合物、制备方法及组合物和应用，所述光刻胶顶层涂层聚合物包括如下聚合物1和聚合物2：聚合物1；聚合物2；a、b、c、x、y、z分别是基于聚合物中重复单元的质量分数，a选自18?60%，b选自1?20%，c选自30?80%；x选自1?15%，y选自5?30%，z选自60~90%；聚合物1和聚合物2的分子量选自1000?40000Da，聚合物1和聚合物2的分子量分散系数选自1.0?4.0。本发明所述聚合物能够有效减少浸没式曝光时光致产酸剂对光学镜头的污染，且配制的光刻胶顶层涂层具有较高的接触角。

今年以来万润股份新获得专利授权14个，较去年同期增加了55.56%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.59亿元，同比减15.59%。

数据来源：企查查

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