证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆温度控制器及系统、方法和等离子体处理装置”,专利申请号为CN201911377075.0,授权日为2024年4月9日。
专利摘要:本发明适用于半导体技术领域,公开了晶圆温度控制器、晶圆温度控制系统、晶圆温度控制方法和等离子体处理装置。其中,晶圆温度控制系统包括:基座,用于承载一静电卡盘,所述基座内部设置至少两个可独立控温的第一冷却区域;静电卡盘,包括用于承载晶圆的承载面,所述承载面上设置至少两个可独立控温的第二气体冷却区域;所述第一冷却区域和所述第二气体冷却区域在垂直于静电卡盘表面的方向上不完全重合。本发明能够实现晶圆温度分布均匀的效果。
今年以来中微公司新获得专利授权52个,较去年同期减少了1.89%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。
数据来源:企查查
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