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龙腾光电获得实用新型专利授权:“一种下电极板保护结构及干蚀刻装置”

来源:证券之星企业动态 2024-04-10 03:14:12
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证券之星消息,根据企查查数据显示龙腾光电(688055)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种下电极板保护结构及干蚀刻装置”,专利申请号为CN202322263178.2,授权日为2024年3月26日。

专利摘要:本实用新型涉及显示装置加工技术领域,公开一种下电极板保护结构及干蚀刻装置。该下电极板保护结构包括屏蔽环和边角保护件,屏蔽环环设于下电极板的外周;边角保护件包括本体和连接于本体上的第一卡凸,下电极板的每个边角位置处均设置有第一凹槽,下电极板的每个边角位置处与屏蔽环之间均设置有一边角保护件,每个边角保护件的第一卡凸均能卡接于对应的第一凹槽中。通过在下电极板的每个边角位置处卡接一边角保护件,可以防止在更换屏蔽环时,屏蔽环直接与下电极板的边角位置发生碰撞导致其上的陶瓷层损坏脱落;通过屏蔽环和边角保护件的配合使用,可以对下电极板进行保护,从而保证待刻蚀的晶元或基板的刻蚀质量。

今年以来龙腾光电新获得专利授权63个,较去年同期减少了8.7%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.1亿元,同比增21.8%。

数据来源:企查查

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