中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理设备及用于等离子体处理设备的接地环组件”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理设备及用于等离子体处理设备的接地环组件”，专利申请号为CN201910595369.4，授权日为2024年4月5日。

专利摘要：一种等离子体处理设备及用于等离子体处理设备的接地环组件，其中，等离子体处理设备包括：反应腔，所述反应腔包括反应腔侧壁，所述反应腔侧壁包括承载面；位于所述反应腔内底部的基座，所述基座用于承载待处理基片；包围所述基座的中接地环组件，所述中接地环组件包括底部组件、由底部组件外侧端部向上延伸的延伸环以及由延伸环向外延伸的承载环，所述承载环位于承载面上，底部组件、延伸环和承载环构成一个连续的导电通路；包围所述基座的下接地环，所述下接地环顶部与底部组件内侧端部连接；连接于所述基座上的射频源。所述等离子体处理设备的性能较好。

今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了5.66%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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