中微公司获得发明专利授权：“一种零部件及其制备方法和等离子体反应装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种零部件及其制备方法和等离子体反应装置”，专利申请号为CN202010760824.4，授权日为2024年4月5日。

专利摘要：本发明涉及等离子体刻蚀的技术领域，公开了一种零部件及其制备方法和等离子体反应装置，所述零部件具有聚合物吸附功能，用于等离子反应腔，包括：零部件本体，所述零部件本体表面设有耐等离子体腐蚀的第一涂层；设置于所述第一涂层表面的聚合物吸附涂层，所述聚合物吸附涂层包括具有多孔柱状结构的氧化铝材料。在零部件的外表面设置一层聚合物吸附涂层，用于吸附工艺过程中产生的颗粒副产物，从而减少聚合物不均匀分布、累积、掉落所产生的工艺缺陷，并且聚合物吸附涂层具有多孔柱状的结构特征，具有更高的比表面积，即更大的吸附面积，提高吸附效率和吸附量。

今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了5.66%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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