中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理器及其加热器组件”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理器及其加热器组件”，专利申请号为CN201910899771.1，授权日为2024年4月5日。

专利摘要：本发明公开一种等离子体处理器及其加热器组件，等离子体处理器包含反应腔，反应腔内设置静电夹盘，静电夹盘下方设置基座，反应腔上部设有气体喷淋装置，加热器组件置于设定空间内，用于控制待加热部件的温度，加热器组件包含：基体，侧壁开设多层沟槽，任意两相邻层沟槽之间存在高度差；加热管，绕制在基体上的多层沟槽内，加热管沿基体的高度方向呈多圈分布，用以增加设定空间内的加热管的长度。本发明利用空余的空间，将加热器组件的整体高度提高，且加热管可在外层盘，也可内外侧同时盘加热管，利于增加加热管的长度，可减小加热管的功率密度，还可在此基础再提高加热功率，保证加热器的可靠性和寿命；加热器采用单端引线的形式，方便使用。

今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了5.66%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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