颀中科技获得实用新型专利授权：“等离子体发生装置和晶圆加工设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示颀中科技（688352）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“等离子体发生装置和晶圆加工设备”，专利申请号为CN202322343201.9，授权日为2024年4月2日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造领域，具体公开了一种等离子体发生装置和晶圆加工设备，其中等离子体发生装置包括罐体、穿过所述罐体的通气管、设于通气管一侧的激发元件，所述罐体包括具有腔室的内壳、位于内壳外侧的外壳、形成于内壳和外壳之间的夹层，所述通气管穿过所述内壳的腔室设置，所述外壳上开设有与所述夹层连通的进水口和出水口。本实用新型中，可通过向罐体的夹层内注入冷却水的方式，降低罐体内壳腔室内的温度，从而降低通气管内的温度，防止高温影响通气管的密封性能。

今年以来颀中科技新获得专利授权4个，较去年同期减少了42.86%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了4842.9万元，同比减4.85%。

数据来源：企查查

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