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天岳先进获得实用新型专利授权:“一种带有特气控制系统的长晶设备”

来源:证券之星企业动态 2024-04-03 02:30:54
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证券之星消息,根据企查查数据显示天岳先进(688234)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种带有特气控制系统的长晶设备”,专利申请号为CN202322375274.6,授权日为2024年4月2日。

专利摘要:一种带有特气控制系统的长晶设备,涉及碳化硅晶体生长技术领域,技术方案是:包括反应腔和用于向反应腔供气的进气管,还包括恒温组件,恒温组件包括换热管和换热器,换热管的两端分别与换热器的进口和出口连接。本技术方案的有益效果是:通过恒温柜、测温计、换热器和换热部的配合,能直接监控输送到恒温柜内特气的温度,再通过换热器和换热部,对输送的特气进行加热或者散热,使特气温度达到恒定可控,通过恒温室,输送到反应腔前的管路再进行保温处理,从而让特气温度更加稳定,同时设置第一输送管和第二输送管,当设备损坏或者维修时,可以随时更换管路,避免了出现故障的设备带病运行,保证了长晶设备的长期稳定运行。

今年以来天岳先进新获得专利授权11个,较去年同期增加了266.67%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了8980.84万元,同比增69.02%。

数据来源:企查查

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