天岳先进获得实用新型专利授权：“一种碳化硅衬底主参考面性能测试用定位设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示天岳先进（688234）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种碳化硅衬底主参考面性能测试用定位设备”，专利申请号为CN202322277903.1，授权日为2024年3月29日。

专利摘要：本申请公开了一种碳化硅衬底主参考面性能测试用定位设备，属于半导体碳化硅性能测试相关设备技术领域。该设备包括：底座，底座上设置有前定位部、左定位部和右定位部，前定位部、左定位部和右定位部之间能够确定一个圆，以使碳化硅衬底被限位在前定位部、左定位部和右定位部之间；前定位部、左定位部和右定位部中的任意两个定位部之间设有防止碳化硅衬底转动的限位件，限位件能够延伸至碳化硅衬底notch边的凹槽内，或者限位件能够与碳化硅衬底的平边相抵接。该定位设备在碳化硅衬底主参考面取向的偏离值的测试过程中能够保证碳化硅衬底正放在测试台上，以保证后续测试的准确性。

今年以来天岳先进新获得专利授权10个，较去年同期增加了233.33%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了8980.84万元，同比增69.02%。

数据来源：企查查

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