龙腾光电获得实用新型专利授权：“干蚀刻装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示龙腾光电（688055）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“干蚀刻装置”，专利申请号为CN202322364602.2，授权日为2024年3月26日。

专利摘要：本实用新型公开了一种干蚀刻装置，涉及显示面板的制造技术领域。干蚀刻装置包括腔体、基座、上电极、下电极、分子泵和挡板，腔体的顶部设置有多个进气孔。基座通过支撑架设于腔体内；上电极设于腔体的顶部，下电极设于基座上，基板置于下电极上，上电极和下电极通电，气体自多个进气孔进入腔体内，在上电极和下电极之间形成电浆，以对基板进行蚀刻。分子泵设于腔体的下方，能将腔体内反应后的气体抽出。挡板围设于基座与腔体的底部之间，挡板的开度可调。通过调节挡板的开度，能够实现不同类型的显示面板的蚀刻速率，无需设置多个干蚀刻装置，或者多次拆装挡板，通用性更好，而且降低了成本。

今年以来龙腾光电新获得专利授权58个，较去年同期减少了6.45%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.1亿元，同比增21.8%。

数据来源：企查查

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