广钢气体获得发明专利授权：“芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统及输送系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示广钢气体（688548）新获得一项发明专利授权，专利名为“芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统及输送系统”，专利申请号为CN202311844527.8，授权日为2024年3月26日。

专利摘要：本发明提供一种芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统及输送系统，该芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统包括原料储罐、第一输送管路、缓冲储罐、隔膜泵和冷冻机，原料储罐、第一输送管路和缓冲储罐依次连通，第一输送管路用于输送液态二氧化碳，隔膜泵位于原料储罐和缓冲储罐之间的第一输送管路上，原料储罐与隔膜泵之间的第一输送管路的至少一段为伴冷管路，伴冷管路包括液体输送管和位于液体输送管外的制冷剂管路，制冷剂管路连通冷冻机，液体输送管内输送液态二氧化碳，制冷剂管路内流动乙二醇制冷剂。本发明提供的芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统及输送系统可保证隔膜泵能够及时启动，确保二氧化碳供应的稳定性和连续性。

今年以来广钢气体新获得专利授权3个，较去年同期增加了50%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8875.96万元，同比增23.79%。

数据来源：企查查

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