上海新阳获得发明专利授权：“一种清洗液组合物的应用”

证券之星消息，根据企查查数据显示上海新阳（300236）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种清洗液组合物的应用”，专利申请号为CN202211369078.1，授权日为2024年3月8日。

专利摘要：本发明公开了一种清洗液组合物的应用。该清洗液组合物可用于清洗微电子器件上的具有等离子体蚀刻后残余物和/或硬遮罩材料，该清洗液组合物包括下述质量分数的组分：氧化剂、0.001?0.010％氧化型谷胱甘肽、半胱氨酸、0.01?0.05％水溶性高分子、有机碱、螯合剂、缓蚀剂、羧酸铵、0.01?0.05％EO?PO聚合物L42和水，水补足余量。本发明的清洗液组合物对多种金属及介电材料缓蚀性强；可以高度选择性地移除Ti、TiN、TaN、TiNxOy硬遮罩或包含上述物质的合金的硬遮罩；对具有等离子刻蚀后残余物和灰化后残余物清洗效果佳，具有良好的应用前景。

今年以来上海新阳新获得专利授权21个，较去年同期增加了133.33%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6400.07万元，同比增22.69%。

数据来源：企查查

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