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有研硅获得发明专利授权:“一种精准控制单晶生长界面的方法”

来源:证券之星企业动态 2024-03-06 02:32:38
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证券之星消息,根据企查查数据显示有研硅(688432)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种精准控制单晶生长界面的方法”,专利申请号为CN202111680189.X,授权日为2024年3月5日。

专利摘要:本发明公开了一种精准控制单晶生长界面的方法,包括以下步骤:(1)等径直径稳定后,通过单晶炉客户端依次获得等径过程中直径稳定位置A和单晶重量W1、位置B和单晶重量W2、位置C和单晶重量W3;其中位置C为生长界面所在位置,计算位置A到位置B的单晶重量随着长度的变化率α=(W2?W1)/(B?A)、以及位置B到位置C的单晶重量随着长度的变化率β=(W3?W2)/(C?B);(2)通过计算确定出单晶理论重量随长度的变化率m,按照m随长度的变化得到一条线,并以此线作为基准线;(3)比较α和β的数值,若m<α<β,则判断生长界面为凸面,提升拉速;若m>α>β,则判断生长界面为凹面,降低拉速;(4)随着单晶长度增加,不断比较连续两段的重量随长度的变化率值,及时调整拉速。

今年以来有研硅新获得专利授权4个,较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了4347.69万元,同比增17.39%。

数据来源:企查查

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