证券之星消息,根据企查查数据显示长光华芯(688048)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种微纳空气孔三维模型的重建方法”,专利申请号为CN202311476674.4,授权日为2024年2月27日。
专利摘要:本发明涉及微纳空气孔技术领域,公开了一种微纳空气孔三维模型的重建方法,该方法包括:提供半导体衬底;在半导体衬底上制备微纳空气孔结构;基于预设切样角度对微纳空气孔结构进行切片制样,生成空气孔断层成像图;基于空气孔断层成像图,利用图像融合算法重建微纳空气孔三维模型。本发明避免了微纳尺度下的反复切片,显著提高了微纳空气孔的三维重建效率,降低了对切片角度精度的要求,提高了器件的分析制备效率及良率,降低了成本。
今年以来长光华芯新获得专利授权4个,与去年同期持平。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了5477.17万元,同比增1.26%。
数据来源:企查查
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