上海新阳获得发明专利授权：“用于选择性移除硬遮罩的清洗液、其制备方法及应用”

证券之星消息，根据企查查数据显示上海新阳（300236）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于选择性移除硬遮罩的清洗液、其制备方法及应用”，专利申请号为CN202010208599.3，授权日为2024年2月23日。

专利摘要：本发明公开了一种用于选择性移除硬遮罩的清洗液、其制备方法及应用，所述的清洗液由下述原料制得，所述的原料包括以下质量分数的组分：10％?50％的氧化剂、0?1％的D?氨基酸氧化酶、0?2％的D型氨基酸、0.1％?10％的有机碱、0.001％?10％的螯合剂、0.005％?10％的缓蚀剂、0.05％?10％的羧酸铵、0.005％?1.2％的EO?PO聚合物L42、0.005％?2％的钝化剂和余量的水，所述的质量分数为各组分质量占各组分总质量的百分比。本发明清洗液对多种金属及电介质缓蚀性强，清洗效果佳；并且本发明的清洗液可回收并可多次循环使用，最大使用次数可达10次，大大降低了芯片制造的成本。

今年以来上海新阳新获得专利授权16个，较去年同期增加了77.78%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6400.07万元，同比增22.69%。

数据来源：企查查

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