晶合集成获得发明专利授权：“光学邻近修正方法、系统、计算机设备及介质”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“光学邻近修正方法、系统、计算机设备及介质”，专利申请号为CN202311387197.4，授权日为2024年2月20日。

专利摘要：本申请涉及一种光学邻近修正方法、系统、计算机设备及介质，方法包括：获取包括阶梯线的初始版图图形，阶梯线包括依次连接的第一边、第二边及第三边；在初始版图图形的外围形成评价点，评价点包括位于第一边一侧的一组第一子评价点、第二边一侧的一组第二子评价点以及第三边一侧的一组第三子评价点；其中，第一子评价点、第二子评价点及第三子评价点中的至少一组为阶梯状评价点；基于评价点对初始版图图形进行光学邻近修正，以获取目标版图图形，目标版图图形的收敛度位于预设范围之内。上述方法能够对形状特殊或较复杂的图形进行更加精准的修正，从而提高修正准确率，以提高修正效率、减轻后续检查校正压力以及研发工作量。

今年以来晶合集成新获得专利授权30个，较去年同期增加了30.43%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元，同比增27.46%。

数据来源：企查查

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