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微导纳米获得实用新型专利授权:“炉门装置和扩散炉”

来源:证券之星企业动态 2024-02-14 02:16:01
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证券之星消息,根据企查查数据显示微导纳米(688147)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“炉门装置和扩散炉”,专利申请号为CN202322238476.6,授权日为2024年2月13日。

专利摘要:本申请涉及一种炉门装置和扩散炉,所述炉门装置包括:炉门本体;调节件,与所述炉门本体相连,且可受控地带动所述炉门本体沿第一方向运动,所述第一方向与所述炉门本体的轴线所在方向平行;液压缓冲器,安装于所述调节件上,且所述液压缓冲器包括沿第一方向可压缩的活塞杆,所述活塞杆与所述炉门本体相抵接。炉门本体与炉管接触时产生的冲击会被液压缓冲器所吸收,从而降低炉门本体关闭炉管时所产生的震动和噪音,并且减少炉门本体磕坏炉管的概率,进而达到提升扩散炉的开机率,延长机械寿命,降低维护成本,简化机械设计,提高半导体的生产效率等效果。

今年以来微导纳米新获得专利授权13个,较去年同期增加了550%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元,同比增3.34%。

数据来源:企查查

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