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敏芯股份获得发明专利授权:“声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备”

来源:证券之星企业动态 2024-02-14 02:10:53
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证券之星消息,根据企查查数据显示敏芯股份(688286)新获得一项发明专利授权,专利名为“声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备”,专利申请号为CN202311642780.5,授权日为2024年2月13日。

专利摘要:本发明公开了一种声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备,其中,声电转换结构的制作方法包括:提供衬底,并在衬底的一侧制作第一绝缘层;在第一绝缘层上方制作阻尼结构层;在阻尼结构层背离衬底的一侧制作第二绝缘层;在第二绝缘层上方制作背极板层,并在背极板层刻蚀出在厚度方向上贯穿背极板层的声孔;在背极板层背离阻尼结构层的一侧制作第三绝缘层;在第三绝缘层上制作振膜层;对衬底进行刻蚀,以刻蚀出贯穿衬底的背腔;通过背腔处将部分第一绝缘层、部分第二绝缘层、部分第三绝缘层刻蚀掉,以得到声电转换结构。本发明所提供的技术方案既实现了声电转换结构的单指向性能,同时又保障了声电转换结构对声音拾取的一致性。

今年以来敏芯股份新获得专利授权14个,较去年同期增加了16.67%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了3770.04万元,同比增5.36%。

数据来源:企查查

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