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上海新阳获得发明专利授权:“一种底部抗反射涂层及其制备方法和应用”

来源:证券之星企业动态 2024-02-14 02:09:06
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证券之星消息,根据企查查数据显示上海新阳(300236)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种底部抗反射涂层及其制备方法和应用”,专利申请号为CN202111322707.0,授权日为2024年2月13日。

专利摘要:本发明公开了一种底部抗反射涂层及其制备方法和应用。本发明公开的聚合物由下述方法制备得到:(1)将溶剂I预热;(2)将如式(A)所示的单体、如式(B)所示的单体、如式(C)所示的单体、如式(L)所示的交联剂、引发剂和溶剂II混合,得一混合液;(3)将混合液加入到预热的溶剂中进行聚合反应;其中,步骤(1)和步骤(2)不分先后。所述的底部抗反射涂层能够降低反射率,在底部抗反射涂层旋涂光致抗蚀剂后,未观察到由底部抗反射涂层形成的浮渣。

今年以来上海新阳新获得专利授权12个,较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了6400.07万元,同比增22.69%。

数据来源:企查查

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