中微公司获得发明专利授权：“化学气相沉积设备及其气体喷淋头”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“化学气相沉积设备及其气体喷淋头”，专利申请号为CN202311694929.4，授权日为2024年2月9日。

专利摘要：一种化学气相沉积设备及其气体喷淋头，气体喷淋头包含通过紧固件固定在反应腔顶盖下方的气体分配板和冷却板，冷却板上具有多个出气通道，利用加强筋对冷却板的出气通道进行加固，调整位于出气通道内的加强筋的位置，将靠近紧固件的加强筋错位设置，使得应力不会被传递至紧固件的位置，有效缓解冷却板上的应力集中，有效减少冷却板产生裂纹。

今年以来中微公司新获得专利授权9个，较去年同期减少了25%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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