中微公司获得发明专利授权：“电感耦合等离子体处理装置及其点火控制方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“电感耦合等离子体处理装置及其点火控制方法”，专利申请号为CN201910870691.3，授权日为2024年2月9日。

专利摘要：本发明公开了一种电感耦合等离子体处理装置的点火控制方法，所述装置具有真空处理腔、射频功率源以及偏置功率源，所述射频功率源通过电感耦合线圈将射频信号耦合到所述真空处理腔内，所述偏置功率源通过射频匹配网络将偏压信号施加到所述真空处理腔内部的基座上，所述基座用于支撑待处理基片；所述方法包括：获取控制指令；所述偏置功率源执行所述控制指令，产生所述偏压信号；其中，所述偏压信号为脉冲电压，用于与所述射频信号共同进行等离子体点火。应用本发明提供的方法，通过控制射频功率源和偏置功率源的开启时间，以及调整偏置功率源的脉冲电压的占空比和电压大小，在实现高效点火的同时，还可以实现对等离子体的均匀加速。

今年以来中微公司新获得专利授权8个，较去年同期减少了33.33%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。