证券之星消息,根据企查查数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆加工方法、系统及终端设备”,专利申请号为CN202111556934.X,授权日为2024年2月2日。
专利摘要:本发明提供了一种晶圆加工方法、系统及终端设备,方法包括:设置不同的输入变量,对晶圆进行磨削,其中,所述输入变量包括姿态调节参数、加工参数和磨削过程参数中的至少一个;测量磨削后的晶圆厚度,提取晶圆的面形特征作为输出变量;采用机器学习算法建立输入变量与输出变量之间的映射关系,得到面形预测模型。本发明能够得到晶圆磨削的面形预测模型,提高了预测的准确性和可靠性。
今年以来华海清科新获得专利授权7个,较去年同期减少了22.22%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.39亿元,同比增63.98%。
数据来源:企查查
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