华海清科获得发明专利授权：“一种弹片式晶圆在位检测装置及检测方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种弹片式晶圆在位检测装置及检测方法”，专利申请号为CN202111612454.0，授权日为2024年2月2日。

专利摘要：本发明公开了一种弹片式晶圆在位检测装置及检测方法，所述弹片式晶圆在位检测装置包括固定座、摆动件和传感器，所述固定座沿晶圆交换装置的托架的周向设置，所述摆动件的一端通过杆件转动连接于所述固定座，摆动件的另一端配置有感应块，所述传感器设置于托架的内部；所述摆动件能够绕所述杆件摆动，使得感应块与传感器的相对位置发生改变，根据两者的位置变化判定晶圆是否在位。

今年以来华海清科新获得专利授权7个，较去年同期减少了22.22%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.39亿元，同比增63.98%。

数据来源：企查查

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