天岳先进获得实用新型专利授权：“一种低损伤研磨SiC的研磨装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示天岳先进（688234）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种低损伤研磨SiC的研磨装置”，专利申请号为CN202321535040.7，授权日为2024年1月19日。

专利摘要：本申请公开了一种低损伤研磨SiC的研磨装置，属于半导体研磨装置技术领域。该装置包括：上研磨盘、晶圆放置盘、导流管、下研磨盘、超声搅拌料筒和冷却机构，晶圆放置盘上开设有第二通孔和容纳孔，容纳孔用于放置晶圆，下研磨盘底面开设有回料孔；超声搅拌料筒用于混合并分散纳米流体研磨料，超声搅拌料筒通过回料管与回料孔连通；冷却机构一端通过入料管与超声搅拌筒连接，另一端通过出料管与导流管连接。该装置通过超声搅拌料筒对纳米流体研磨料进行超声分散，能够有效提高纳米流体研磨料的分散性，并通过冷却机构阻止研磨料发生团聚，从而实现对晶圆的均匀研磨，在保证去除切割损伤层的同时，进一步降低研磨工艺对晶圆造成的损伤。

今年以来天岳先进新获得专利授权6个，较去年同期增加了500%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了8980.84万元，同比增69.02%。

数据来源：企查查

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