华海清科获得发明专利授权：“利用混合核函数的磨削面形预测方法、系统及终端设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“利用混合核函数的磨削面形预测方法、系统及终端设备”，专利申请号为CN202111568408.5，授权日为2024年1月30日。

专利摘要：本发明提供了一种利用混合核函数的磨削面形预测方法、系统及终端设备，方法包括：设置不同的输入变量，对晶圆进行磨削，其中，所述输入变量包括姿态调节参数、加工参数和磨削过程参数中的至少一个；测量磨削后的晶圆厚度，提取晶圆的面形特征作为输出变量；基于混合核函数的方法改进支持向量回归算法；采用改进支持向量回归算法建立输入变量与输出变量之间的映射关系，得到面形预测模型。本发明基于混合核函数的方法改进支持向量回归算法，采用改进支持向量回归算法建立了晶圆磨削的面形预测模型，提高了模型的预测精度和泛化性能，提高了预测的准确性和可靠性。

今年以来华海清科新获得专利授权5个，较去年同期减少了44.44%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.39亿元，同比增63.98%。

数据来源：企查查

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