汇成股份获得发明专利授权：“一种金凸块表面粗糙度改善方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示汇成股份（688403）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种金凸块表面粗糙度改善方法”，专利申请号为CN202111062370.4，授权日为2024年1月26日。

专利摘要：本发明提供一种金凸块表面粗糙度改善方法。所述金凸块表面粗糙度改善方法，包括以下操作步骤：S1、溅镀金属膜：将集成电路芯片放入电镀机中，先将真空抽至1×10?2Pa，再通入氩气离子轰击靶材。本发明提供一种金凸块表面粗糙度改善方法，主要通过调整吸泵的功率，分别实现对上层管路、中层管路以及下层管路中电镀液流量的调节，将上层管路、中层管路流量控制在30?36LPM范围内，而下层管路流量控制在0?5LPM范围内，在电镀槽中形成向上平稳流动状态，通过改善镀液流场的分布达到改善晶圆表面镀液浓度，从而改善二次电流分布，即依靠改善流场使得板面的电流密度更加接近，进而能够使得镀层自然均匀分布在金凸块的表面，形成光滑的镀层。

今年以来汇成股份新获得专利授权1个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了3735.47万元，同比增9.14%。

数据来源：企查查

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