上海新阳获得发明专利授权：“晶圆转移装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示上海新阳（300236）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆转移装置”，专利申请号为CN201611264253.5，授权日为2024年1月12日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆转移装置，其包括支撑台、托盘、第一机械臂和第二机械臂；所述支撑台设置有通孔，所述支撑台可升降地设置；所述托盘固定设置于所述支撑台下方，所述支撑台升降降过程中使所述托盘自所述通孔穿过；所述第一机械臂与所述第二机械臂可相互靠近及远离地设置，用于共同夹持晶圆；所述第一机械臂与所述第二机械臂设置于所述支撑台上方；所述第一机械臂与所述第二机械臂可升降并可水平移动地设置。本发明利用托盘固定、支撑台的升降取放晶圆，自动化程度高，可代替人工转移晶圆，劳动强度小且效率高，可适应大规模生产的需要。本发明使用导向装置，可确保各部件的运行稳定，防止损坏晶圆。

今年以来上海新阳新获得专利授权3个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6400.07万元，同比增22.69%。

数据来源：企查查

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