证券之星消息,根据企查查数据显示天合光能(688599)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“扩散炉”,专利申请号为CN202322011295.X,授权日为2024年1月9日。
专利摘要:本实用新型提供一种扩散炉,包括炉管和多个载片装置,炉管内部形成用于供扩散气体流动的扩散流道,扩散流道具有靠近炉管沿其延伸方向的两端设置的流道入口和流道出口,多个载片装置均设置在炉管内并沿炉管的延伸方向依次设置,每个载片装置上形成有沿竖直方向间隔设置的多个水平的承载面,每个载片装置上的多个承载面与相邻的载片装置的多个承载面对应且共面设置,靠近流道出口设置的一个载片装置的承载面上放置有导流片,其余载片装置的承载面用于供硅片放置,以使沿扩散流道流动的扩散气体以水平方向依次从各个载片装置所承载的硅片的表面流过。这样,确保扩散气体能够保持水平方向从靠近流道出口的硅片的表面流过,扩散方阻均匀性高。
今年以来天合光能新获得专利授权15个,较去年同期增加了87.5%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了8.18亿元,同比增30.98%。
数据来源:企查查
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