上海新阳获得发明专利授权：“一种氧化钒缓蚀含氟剥离液的应用”

证券之星消息，根据企查查数据显示上海新阳（300236）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种氧化钒缓蚀含氟剥离液的应用”，专利申请号为CN202110155936.1，授权日为2024年1月5日。

专利摘要：本发明公开了一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用。具体地，本发明公开了氧化钒缓蚀含氟剥离液在半导体器件中对待剥离材料进行剥离和清洗中的应用，其中所述氧化钒缓蚀含氟剥离液的原料包括下列组分：氟化物、烷醇胺、缓蚀剂、络合剂、直链酰胺类有机溶剂、砜类和/或亚砜有机溶剂、醇醚类有机溶剂、烷酮类有机溶剂、PO?EO?乙烯基二元胺共聚物和余量的水，所述的PO?EO?乙烯基二元胺共聚物为Tetronic 901、Tetronic 904和Tetronic 908中的一种或多种。本发明的氧化钒缓蚀含氟剥离液能有效去除待剥离材料，且对例如VOX/PI/Ni等材料的光阻材料腐蚀性低。

今年以来上海新阳新获得专利授权2个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6400.07万元，同比增22.69%。

数据来源：企查查

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