证券之星消息,根据企查查数据显示天孚通信(300394)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于半导体芯片性能测试的装置及方法”,专利申请号为CN201910460143.3,授权日为2024年1月2日。
专利摘要:本发明涉及一种用于半导体芯片性能测试的装置,包括底板、调节组件、探针组件和载盘,调节组件和载盘分别设置在底板上的左右两侧,调节组件包括快速调节架、微调调节架、机械臂和角度轴,探针组件包括限位套筒、调节套筒和钨丝探针,限位套筒与角度轴可拆式连接,限位套筒上设有盲孔,调节套筒套装在钨丝探针上,调节套筒插入盲孔内,钨丝探针贯穿限位套筒,钨丝探针的针头位于限位套筒的下方,该用于半导体芯片性能测试的装置中,采用软钨丝作为探针,可进行大量次重复性测试,保护芯片的金属层;可以随意控制两根钨丝探针伸出的长度、间距,可实现最小50um级芯片PAD测试;实现快速测试功能,操作简单,装置成本低,作业效率高。
今年以来天孚通信新获得专利授权1个。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了6345.65万元,同比增2.02%。
数据来源:企查查
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