路维光电获得实用新型专利授权：“一种带隔离层的掩膜版”

证券之星消息，根据企查查数据显示路维光电（688401）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种带隔离层的掩膜版”，专利申请号为CN202321840191.3，授权日为2023年12月22日。

专利摘要：本实用新型公开了一种带隔离层的掩膜版，涉及半导体掩膜版制造技术领域，包括玻璃基板、遮光层以及隔离层，通过将隔离层覆盖于遮光层上方并无缝填充在遮光层与玻璃基板之间形成的透光区，使得该隔离层在填平有遮光层和没有遮光层区域的段差的同时，隔离层上表面基本无段差，有利于提高清洁效果，使掩膜版表面残留的药液更少，从而在下游使用时，减少了光化学反应带来的影响，达到延长Haze出现的目的。

今年以来路维光电新获得专利授权4个，较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1667.3万元，同比增22.33%。

数据来源：企查查

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