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广钢气体获得发明专利授权:“一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台、制备装置及制备方法”

来源:证券之星企业动态 2023-12-08 01:48:04
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证券之星消息,根据企查查数据显示广钢气体(688548)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台、制备装置及制备方法”,专利申请号为CN202311185988.9,授权日为2023年11月28日。

专利摘要:本发明涉及纳米晶体薄膜制备技术领域,具体是涉及一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台、制备装置及制备方法,夹具台包括基板、用于吸附固定玻璃衬片的承托机构及能将导电丝的两端夹紧并绷设在承托机构上的两组夹丝机构,制备装置包括夹具台、开槽机构、嵌丝机构、等离子清洁机构及磁控溅射机构;夹具台能够在开槽机构、嵌丝机构、等离子清洁机构和磁控溅射机构所在的工作区间内移动。本发明通过将玻璃衬片放置在夹具台上,通过开槽机构在玻璃衬片上开槽后嵌入导电丝,在等离子清洁机构清洁后通过磁控溅射机构在玻璃衬片上溅射纳米晶膜,提供一种新的制备纳米晶薄膜的制备装置及其制备方法,操作过程简单,效率高,能够实现批量产品的加工。

今年以来广钢气体新获得专利授权9个,较去年同期增加了800%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4942.03万元,同比增61.93%。

数据来源:企查查

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