华海清科新获得发明专利授权：“一种晶圆夹持机构和晶圆后处理设备”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆夹持机构和晶圆后处理设备”，专利申请号为CN202111110191.3，授权日为2023年11月24日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆夹持机构和晶圆后处理设备，其中，晶圆夹持机构包括可旋转的盘状结构的基座，所述基座的周侧间隔设置有用于保持晶圆的卡爪，所述卡爪具有正对晶圆时所见的端面、与晶圆接触的第一侧面以及与第一侧面相邻的背离晶圆的第二侧面，所述卡爪的端面为梭形，所述卡爪倾斜设置以使所述梭形的长对角线与晶圆旋转方向的反方向之间呈锐角。

今年以来华海清科新获得专利授权94个，较去年同期增加了91.84%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.39亿元，同比增63.98%。

数据来源：企查查

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