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精测电子新获得实用新型专利授权:“一种晶圆检测模组及测试设备”

来源:证券之星企业动态 2023-11-29 03:05:12
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证券之星消息,根据企查查数据显示精测电子(300567)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆检测模组及测试设备”,专利申请号为CN202321028425.4,授权日为2023年11月28日。

专利摘要:本实用新型公开了一种晶圆检测模组及测试设备,属于晶圆检测技术领域。所述晶圆检测模组包括载板和检测组件。所述载板上具有支撑架,所述检测组件至少包括2D相机单元、3D相机单元和面阵检测相机单元,所述2D相机单元和所述3D相机单元间隔布置在所述载板上,所述支撑架围设在所述2D相机单元和所述3D相机单元外,且所述2D相机单元、所述3D相机单元和所述面阵检测相机单元均连接所述支撑架。本实用新型实施例提供的一种晶圆检测模组,不仅可以实现对晶圆多种检测,提高晶圆的检测效率,还能增大整个装置的结构强度。

今年以来精测电子新获得专利授权173个,较去年同期减少了50%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.84亿元,同比增19.74%。

数据来源:企查查

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