卓胜微新获得发明专利授权：“一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示卓胜微（300782）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法”，专利申请号为CN202211496198.8，授权日为2023年11月14日。

专利摘要：本发明公开一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法，升降辅助工装包括控制装置、连接组件及开关组件，连接组件包括电源连接线以及信号传输线，电源连接线和信号传输线的一端均与控制装置电连接，电源连接线和信号传输线的另一端用于分别与光刻机的电源接头和信号传输接头电连接，开关组件与控制装置电连接，以控制电源连接线和/或信号传输线的通断，实现通过电源连接线为掩膜板承载台断电后重新供电，控制装置通过信号传输线传输解除自锁的信号，使得掩膜板承载台解除自锁，从而实现掩膜板承载台根据需要进行位置调节，从而便于清理掩膜板承载台或掩膜板有上的杂质，或者调节掩膜板位置，结构简单，易操作。

今年以来卓胜微新获得专利授权20个，较去年同期增加了11.11%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.54亿元，同比增50.79%。

数据来源：企查查

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