国林科技(300786)答投资者问
公司的臭氧发生器是否为半导体fab厂纯水系统的重要一环?
尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程,子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求。子公司国林半导体现有产品包括:半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、半导体级高浓度臭氧水系统、DI-NH3氨水输送系统、二氧化碳水发生器、臭氧水杀菌系统、臭氧气体尾气分解器、臭氧水分解器、臭氧气体浓度检测仪、臭氧水溶浓度检测仪等产品;详细产品技术信息请查阅子公司国林半导体官方网站(https://www.guolinsemi.com/)进行了解。感谢您的关注。
来源:互动易 答复时间:2026/4/21 20:06:04
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