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力合科技(300800)答投资者问

半导体制程节点向个位数纳米、甚至埃米级别迈进，晶圆上的电路结构愈发精细，对AMC的敏感度急剧提升，AMC监测已从半导体制造的“辅助环节”升级为“核心刚需”，成为保障先进制程稳定推进的关键支撑。请问公司在AMC监测领域如何开展业务，对该业务有重点研究发展吗？

尊敬的投资者，您好！公司自主研发了LFGCMS-100环境空气挥发性有机物气相色谱-质谱连续监测系统，高度集成了VOCs在线富集、GC-MS+FID联用检测、气体发生器、配气仪等仪器和部件，通过创新设计、多平台软件协同工作，可连续监测100余种VOCs组分，实现空气中VOCs组分连续24h定性定量监测。系统目前已应用于半导体车间空气监测。感谢您的关注！

来源：互动易     答复时间：2026/3/19 14:13:23

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